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AFXS直線電機平臺
AFXS直線電機平臺
直線電機平臺用于晶圓、藍寶石等檢測,由Akribis高性能無鐵芯直線電機驅動;XY軸采用交叉滾柱導軌,中空結構,內置光柵系統。分辨率50nm,重復定位精度可達士0.75um,絕對定位精度2um;有效行程70*70mm,最大速度200mm/s;可定制。
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產品詳情
AFXS
直線電機平臺
:參數
X軸
Y軸
行程
70mm
70mm
分辨率
50nm
50nm
定位精度
±2μm
±2μm
重復度
±0.75 μm
±0.75 μm
平面度
±3.5 μm
直線度
±3.5 μm
最大速度
200 mm/s
建議負載重量
< 1 Kg
中空尺寸
90 * 110 mm
XY軸正交度
10 arc sec
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